芯源微(688037.SH)公告，公司拟于2024年3月19日在公司上海临港600848）厂区竣工仪式现场发布前道单片式化学洗涤机新品KS-CM300，于3月20日至22日SEMICON China2024上海国际半导体展会期间发布全自动SiC划片裂片一体机新品KS-S200-2S1B。

  关于前道单片式化学洗涤机，该款机台由公司上海临港子公司自主研发，具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等多重优势，适用于薄膜前后的清洗、干法蚀刻后清洗、离子注入灰化后清洗、CMP后清洗等多种清洗工艺，能够很好的满足客户对于UPTime、刻蚀一致性等稳定性指标的严苛要求。同时，机台还充分借鉴了公司在前道Track及Scrubber等领域的成熟技术，通过一直在优化内部单元及整机设计，可有效确保机台内部微环境均匀稳定，并最大限度压缩chamber空间，推出的高产能架构能够助力客户实现清洗效率的显著提升。此外，机台还将配备多项智能化功能，实现AI赋能。

  关于全自动SiC划片裂片一体机，该款机台由公司日本子公司与合作伙伴联合研发，一般适用于6/8寸SiC晶圆的切割及裂片工艺，同时应用范围可拓展至其他三五族化合物、陶瓷、蓝宝石等特种材料。该机台具有整机设计紧凑、配置灵活、高产能、干法切割、断面平整、无切口损失等特点，致力于为下游客户提供更经济高效的特种材料切割方案。

  7天6板固态电池概念股锆基材料收入占主营收入比例不足1%、中海油服中东地区客户暂停4座钻井平台作业

  已有455家主力机构披露2023-12-31报告期持股数据，持仓量总计4719.25万股，占流通A股34.33%

  近期的平均成本为104.83元。该股资金方面呈流出状态，投资者请谨慎投资。该公司运营状况良好，多数机构觉得该股长期投资价值较高。

  投资者关系关于同花顺软件下载法律声明运营许可联系我们友情链接招聘英才使用者真实的体验计划

  不良信息举报电话举报邮箱：增值电信业务经营许可证：B2-20090237